模溫機(jī)是一種利用熱傳導(dǎo)油或水作為熱傳遞介質(zhì)的加熱設(shè)備,可用于化工行業(yè)中的各種反應(yīng)釜、蒸餾塔等設(shè)備的加熱和恒溫控制,提高反應(yīng)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
一.光刻膠生產(chǎn):
1.精確控溫:光刻膠是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵材料,其生產(chǎn)過程對(duì)溫度控制要求極為嚴(yán)格。模溫機(jī)能夠提供精準(zhǔn)的溫度控制,確保光刻膠在反應(yīng)過程中的溫度保持穩(wěn)定,這對(duì)于光刻膠的性能和質(zhì)量至關(guān)重要。例如,在特定的溫度范圍內(nèi),光刻膠的化學(xué)反應(yīng)才能按預(yù)期進(jìn)行,從而保證其在芯片、光學(xué)器件、微機(jī)電系統(tǒng)等微型器件制造過程中的應(yīng)用效果。
2.安全保障:光刻膠反應(yīng)過程中可能會(huì)產(chǎn)生氣體,存在引發(fā)火災(zāi)或爆炸的風(fēng)險(xiǎn)。一些專為光刻膠生產(chǎn)設(shè)計(jì)的防爆模溫機(jī),采用整機(jī)隔離式防爆設(shè)計(jì),符合特定的防爆級(jí)別標(biāo)準(zhǔn),能有效防止火花、靜電或熱源引發(fā)的危險(xiǎn),確保生產(chǎn)過程的安全。
二.芯片制造:
1.晶圓加工:在晶圓的加工過程中,如刻蝕、沉積等工藝環(huán)節(jié),需要精確的溫度控制。模溫機(jī)可以為晶圓加工設(shè)備提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境,確保工藝的準(zhǔn)確性和一致性。例如,在刻蝕過程中,如果溫度波動(dòng)較大,可能會(huì)導(dǎo)致刻蝕的深度和寬度不均勻,影響芯片的性能。
2.封裝測(cè)試:芯片封裝測(cè)試過程中也需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制。模溫機(jī)可以用于加熱或冷卻封裝設(shè)備,使芯片在不同的測(cè)試條件下保持穩(wěn)定的溫度,以確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。例如,在高溫測(cè)試環(huán)節(jié),模溫機(jī)能夠快速升溫并保持穩(wěn)定的高溫環(huán)境,以便檢測(cè)芯片在高溫下的性能表現(xiàn)。